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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号
JPH0758054(A)
申请公布日期
1995.03.03
申请号
JP19930223812
申请日期
1993.08.16
申请人
SONY CORP
发明人
SASAKI MASAYOSHI
分类号
H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
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