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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0757891(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930226584 申请日期 1993.08.19
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 AGAWA YOSHIAKI
分类号 H05H1/32;H05H1/48;(IPC1-7):H05H1/32 主分类号 H05H1/32
代理机构 代理人
主权项
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