| 发明名称 |
FINE PATTERNING METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR950001842(B1) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
KR19910014769 |
申请日期 |
1991.08.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP. |
发明人 |
YONEDA, SAKAHIRO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H03H9/10;(IPC1-7):H01L21/461 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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