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发明名称 HANDOTAISOSHINOTEKISHUTSUHOHO
摘要
申请公布号 JPS5177065(A) 申请公布日期 1976.07.03
申请号 JP19750000214 申请日期 1974.12.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAGASHIMA MASAYASU
分类号 H01L21/677;H01L21/301;H01L21/50;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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