发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING DRY ETCHING DEPTH
摘要
申请公布号 JPH0758081(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930198171 申请日期 1993.08.10
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIKAWA TAKASHI;OGURA ICHIRO
分类号 C23F4/00;G01B11/02;G01B11/22;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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