Vorrichtung zur Handhabung von Wafern.,申请号DE19883852770-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zur Handhabung von Wafern.
摘要
申请公布号	DE3852770(D1)	申请公布日期	1995.03.02
申请号	DE19883852770	申请日期	1988.02.08
申请人	SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC., WILTON, CONN., US	发明人	BYERS, WILLIAM, MILFORD CONNECTICUT 06460, US;KOCHERSPERGER, PETER, GREENWICH CONNECTICUT 06830, US
分类号	H01L21/677;B65G49/07;B65H5/18;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/677
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