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发明名称 Einen Ionenstrahl mit gleichmässigem Querschnitt verwendende Vorrichtung.
摘要
申请公布号 DE68916776(T2) 申请公布日期 1995.03.02
申请号 DE19896016776T 申请日期 1989.12.18
申请人 EATON CORP., CLEVELAND, OHIO, US 发明人 BENVENISTE, VICTOR MAURICE, MAGNOLIA MASSACHUSETTS 01930, US;BOISSEAU, RAYMOND PAUL, WALTHAM MASSACHUSETTS 02154, US
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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