| 发明名称 |
Device for introducing reagents into an organometallic vapour phase deposition apparatus. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0535308(B1) |
申请公布日期 |
1995.03.01 |
| 申请号 |
EP19920109299 |
申请日期 |
1992.06.02 |
| 申请人 |
CSELT CENTRO STUDI E LABORATORI TELECOMUNICAZIONI S.P.A. |
发明人 |
BERTONE, DANIELE |
| 分类号 |
C23C16/455;C30B25/14;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
