A wafer transfer sytem.,申请号EP19910303825-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	A wafer transfer sytem.
摘要
申请公布号	EP0454496(B1)	申请公布日期	1995.03.01
申请号	EP19910303825	申请日期	1991.04.26
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED	发明人	TOMITA, MUNENORI;TAKEI, JUNICHIRO
分类号	H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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