COMPONENTE PARA USAR EN UN HORNO DE DIFUSION.

摘要

SE CONSTRUYEN COMPONENTES PARA HORNOS DE DIFUSION SEMICONDUCTORES DE UNA ALTA PUREZA IMPERMEABLE A UNA MATRIZ DE CARBIDA - SILICONA O NITRIDO - SILICONA DEPOSITADA EN UNA MATRIZ FIBROSA PRE - FORMADA DE CARBIDA - SILICONA, CARBONO, O CARBONO REVESTIDO DE CARBIDA SILICONA. LA ALTA PUREZA PREVIENE A LA MATRIZ DE COMPONENTES GASEOSOS INDESEADOS DE LA CONTAMINACION DE LA ATMOSFERA DEL HORNO, Y LAS FIBRAS DE REFUERZO PROPORCIONAN FUERZA COMBINADO CON PESO LIGERO. FIG.6.