| 发明名称 |
Method and device for drying polymer coating deposited from solution on the surface of article |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU657093(B2) |
申请公布日期 |
1995.03.02 |
| 申请号 |
AU19910079713 |
申请日期 |
1991.05.08 |
| 申请人 |
NAUCHNO-PROIZVODSTVENNAYA FIRMA AKTSIONERNOE OBSCHESTVO ZAKRYTO |
发明人 |
VLADIMIR ALEXANDROVICH PEREMYSCHEV |
| 分类号 |
B05C9/12;B05C9/14;B05D3/00;B05D3/02;B05D3/04;B05D3/12;F26B3/00;F26B7/00;F26B15/12;F26B15/18;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/56;(IPC1-7):F26B9/06 |
主分类号 |
B05C9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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