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发明名称 INSPECTING EQUIPMENT FOR LOGIC CIRCUITS
摘要
申请公布号 JPS5365031(A) 申请公布日期 1978.06.10
申请号 JP19760140842 申请日期 1976.11.22
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MATSUOKA EIKI
分类号 G06F11/22;G01R31/28;G06F11/00 主分类号 G06F11/22
代理机构 代理人
主权项
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