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发明名称 Inrichting voor het aftasten van een bundel over een werkstuk voor het implanteren van ionen.
摘要
申请公布号 NL191195(C) 申请公布日期 1995.03.01
申请号 NL19830000056 申请日期 1983.01.07
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人
分类号 H01J37/302;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
主权项
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