| 发明名称 |
FORMATION OF THERMALLY OXIDIZED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0754125(A) |
申请公布日期 |
1995.02.28 |
| 申请号 |
JP19930196099 |
申请日期 |
1993.08.06 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
ASARI SHIN;TAKAHASHI SEIICHI;MIHASHI TETSUO;OTA YOSHIFUMI;NAKAMURA KYUZO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C8/12;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C23C8/12 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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