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发明名称 LIFT OFF METHOD
摘要
申请公布号 JPH0754152(A) 申请公布日期 1995.02.28
申请号 JP19940139135 申请日期 1994.06.21
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 ROBAATO ROBAATOSON;MAAKU MIKAERU KORURATSUKU;ANJIERA TEII RII;KAMU ROU;DAN MEIDAN
分类号 C23C16/50;C23C16/509;C23C16/56;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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