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发明名称 INTERFACE DEVICE BETWEEN SUBSTRAE PROCESSOR
摘要
申请公布号 KR950001754(B1) 申请公布日期 1995.02.28
申请号 KR19910012615 申请日期 1991.07.23
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 OTANI, MASAMI;OKA, YOSHIJI;OKAMOTO, TAKEO;FUKUTOMI, YOSHITERU
分类号 B65G49/07;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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