| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING OFF CONTAMINANT ON SOLID MATTER SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0751646(A) |
申请公布日期 |
1995.02.28 |
| 申请号 |
JP19930222169 |
申请日期 |
1993.08.12 |
| 申请人 |
ISHIHARA SANGYO KAISHA LTD |
发明人 |
MURASAWA SADAO;TERAMOTO SHIGURE |
| 分类号 |
B01J21/06;B01J35/02;B08B7/00;C03C17/23;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/00 |
主分类号 |
B01J21/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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