| 发明名称 |
METHOD OF DRY OBTAINING OF POSITIVE IMAGE IN PHOTOLITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2029979(C1) |
申请公布日期 |
1995.02.27 |
| 申请号 |
SU19894768423 |
申请日期 |
1989.11.16 |
| 申请人 |
INSTITUT ENERGETICHESKIKH PROBLEM KHIMICHESKOJ FIZIKI RAN |
发明人 |
DOROFEEV YURIJ I |
| 分类号 |
G03C5/16;(IPC1-7):G03C5/16 |
主分类号 |
G03C5/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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