发明名称 Tiegel für Flüssigphasenepitaxie
摘要
申请公布号 DE9320766(U1) 申请公布日期 1995.02.23
申请号 DE19930020766U 申请日期 1993.11.12
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人
分类号 C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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