发明名称 Raster-Tunnel-Mikroskop.
摘要
申请公布号 DE69015942(D1) 申请公布日期 1995.02.23
申请号 DE1990615942 申请日期 1990.10.02
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MISHIMA, SHUZO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;OKADA, TAKAO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;TAKASE, TSUGIKO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;OTA, HIROKO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;MIYAMOTO, HIROFUMI, 2544 ISHIKAWA-MACHI, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP
分类号 G01Q20/02;G01B7/34;G01B21/30;G01N27/00;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q30/02;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q70/04;H01J37/00;(IPC1-7):G01N27/00 主分类号 G01Q20/02
代理机构 代理人
主权项
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