Mikrominiaturisierte, elektrostatische Pumpe und Verfahren zu deren Herstellung,申请号DE19924243860-传众专利搜索

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发明名称	Mikrominiaturisierte, elektrostatische Pumpe und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号	DE4243860(C2)	申请公布日期	1995.02.23
申请号	DE19924243860	申请日期	1992.12.23
申请人	IMM INSTITUT FUER MIKROTECHNIK GMBH, 55129 MAINZ, DE	发明人	EHRFELD, WOLFGANG, PROF. DR., 6500 MAINZ, DE;LEHR, HEINZ, DR., 1000 BERLIN, DE;SCHMIDT, MARTIN, DR., 1000 BERLIN, DE
分类号	B01F13/00;B01J4/02;F04D33/00;H01J41/18;(IPC1-7):H02K44/00	主分类号	B01F13/00
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