| 发明名称 |
METHOD OF FORMING THROUGHHHOLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5575242(A) |
申请公布日期 |
1980.06.06 |
| 申请号 |
JP19780149004 |
申请日期 |
1978.12.04 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
OOTA KUNIKAZU;SHIMIZU KIYOUZOU |
| 分类号 |
H01L21/8234;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/06;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L21/8234 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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