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摘要 An excimer laser having a chamber (10) in which a gas-discharge is performed with participation of hydrogen-chloride comprises means with which the hydrogen chloride is formed by hydrolysis.
申请公布号 JPH0716064(B2) 申请公布日期 1995.02.22
申请号 JP19920500297 申请日期 1991.11.19
申请人 发明人
分类号 H01S3/097;H01S3/036;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
主权项
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