发明名称 MANUFACTURING PROCESS FOR LARGE SILICON-GATE MOS INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU2029414(C1) 申请公布日期 1995.02.20
申请号 SU19925034338 申请日期 1992.03.26
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT ELEKTRONNOJ TEKHNIKI 发明人 MESHCHERYAKOV NIKOLAJ YAKOVLEVICH;TSYBIN SERGEJ ALEKSANDROVICH
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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