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发明名称 Kontinuierlicher Edelgas - Halogenid- bzw. Edelgas - Halogen Excimerlaser
摘要
申请公布号 DE3936946(C2) 申请公布日期 1995.02.16
申请号 DE19893936946 申请日期 1989.11.06
申请人 ZOEPFEL, STEFAN, 79837 ST BLASIEN, DE 发明人 ZOEPFEL, STEFAN, 79837 ST BLASIEN, DE
分类号 H01S3/038;H01S3/0971;H01S3/0977;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/097;H01S3/097 主分类号 H01S3/038
代理机构 代理人
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