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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Gate-Elektroden.
摘要
申请公布号 DE58908855(D1) 申请公布日期 1995.02.16
申请号 DE19895008855 申请日期 1989.11.20
申请人 DAIMLER-BENZ AKTIENGESELLSCHAFT, 70567 STUTTGART, DE 发明人 GEYER, ARTHUR, DIPL.-ING. (FH), D-7900 ULM, DE;DAEMBKES, HEINRICH, DR., D-7900 ULM, DE
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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