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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Reliefbildes
摘要
申请公布号 DE4041409(C2) 申请公布日期 1995.02.16
申请号 DE19904041409 申请日期 1990.12.21
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KISHIMURA, SHINJI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 G03F7/20;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/40;C08J3/28;C08J7/00;H01L21/312;H05K3/18 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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