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发明名称 System für Vakuumbehandlung.
摘要
申请公布号 DE3650057(T2) 申请公布日期 1995.02.16
申请号 DE19863650057T 申请日期 1986.10.17
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 DAVIS, CECIL, GREENVILLE TEXAS 75401, US;WOOLDRIDGE, TIMOTHY A., RICHARDSON TEXAS 75080, US;CARTER, DUANE E., PLANO TEXAS 75023, US;SPENCER, JOHN E., PLANO TEXAS 75075, US;MATTHEWS, ROBERT, PLANO TEXAS 75075, US;HILDENBRAND, RANDALL C., RICHARDSON TEXAS 75080, US
分类号 H01L21/677;B25J15/08;B65G1/00;B65G1/02;B65G1/04;B65G1/07;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/56;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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