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发明名称
SEMICONDUCTOR CHIP WITH IMPROVED ABILITY FOR TESTING THE LARGE SCALE INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号
EP0010173(B1)
申请公布日期
1983.03.02
申请号
EP19790103513
申请日期
1979.09.19
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
DOTY JR., CHARLES RANDALL;MUEHLDORF, EUGEN IGOR;SHAH, HIMANSHU GAMANLAL
分类号
G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):01R31/28;06F11/26
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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