CHARGED-PARTICLE-APPLYING ANALYZER AND CHARGED-PARTICLE-APPLYING PLOTTER,申请号JP19930140577-传众专利搜索

发明名称	CHARGED-PARTICLE-APPLYING ANALYZER AND CHARGED-PARTICLE-APPLYING PLOTTER
摘要
申请公布号	JPH0745227(A)	申请公布日期	1995.02.14
申请号	JP19930140577	申请日期	1993.06.11
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	NAKAO SHUJI
分类号	C23C14/48;H01J27/16;H01J37/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/08	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
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