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发明名称 CHARACTERISTIC EVALUATION APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH0743416(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930186030 申请日期 1993.07.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NISHIMURA KOICHI
分类号 G01R31/26;G01R31/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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