发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0745825(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930185893 申请日期 1993.07.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIOZAWA KENJI
分类号 H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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