发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0745712(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930185343 申请日期 1993.07.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKEUCHI MASAHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/8238;H01L23/522;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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