SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT,申请号JP19930209040-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH0745575(A)	申请公布日期	1995.02.14
申请号	JP19930209040	申请日期	1993.07.30
申请人	MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	KOMEYA HIROO;AZUMA TAKAAKI;OSHIMA KATSUO;FUKUMOTO TOSHIHIRO
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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