发明名称 AUTOMATIC HANDLING DEVICE FOR TREATED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0744901(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930190054 申请日期 1993.07.30
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KATO TADASHI
分类号 G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 代理人
主权项
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