发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0745616(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930207218 申请日期 1993.07.29
申请人 NEC CORP 发明人 MURASE HIROSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/3105;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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