| 发明名称 |
MANUFACTURE OF HIGH WITHSTAND VOLTAGE SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0745526(A) |
申请公布日期 |
1995.02.14 |
| 申请号 |
JP19930189474 |
申请日期 |
1993.07.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAGANUMA TAKASHI;SUGINO YUSHI;YAMADA EIICHI;KITANO MANABU |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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