发明名称 ELECTRODE FOR PLASMA CVD EQUIPMENT AND PLASMA CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0745537(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930186244 申请日期 1993.07.28
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KIRIMURA HIROYA
分类号 C23C16/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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