发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0745713(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930188004 申请日期 1993.07.29
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SAWADA JUN
分类号 H01L21/316;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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