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发明名称 BURN-IN TESTER FOR SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0743423(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930185834 申请日期 1993.07.28
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMAMOTO HIROSHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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