发明名称 PROCEDIMENTO PER IL RICONOSCIMENTO DI DIFETTI NELL'ISPEZIONE DI SUPER-FICI STRUTTURATE.
摘要
申请公布号 ITTO950097(D0) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 IT1995TO00097 申请日期 1995.02.14
申请人 JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH 发明人 KOLLHOF DIETMAR
分类号 G01B11/24;G01B11/30;G01N21/88;G01R31/308;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
地址