| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PATTERNING THIN OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0741936(A) |
申请公布日期 |
1995.02.10 |
| 申请号 |
JP19930156590 |
申请日期 |
1993.06.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD;TOYO SEIMITSU KOGYO KK |
发明人 |
NISHIHARA MUNEKAZU;YOKOYAMA MASAHIDE;ONISHI YOICHI;NAKAYAMA TATSUO;ISHII AKIRA |
| 分类号 |
C23C14/04;B24C1/04;C23C14/08;C30B25/04;C30B25/18;C30B29/22;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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