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发明名称 SHAPE MEASUREMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0743142(A) 申请公布日期 1995.02.10
申请号 JP19930183609 申请日期 1993.07.26
申请人 NIKON CORP 发明人 UMEMURA IZUMI;UENO TAKASHI
分类号 G01B21/20;G02C13/00;(IPC1-7):G01B21/20 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
主权项
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