发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING FILM ON VANE FOR ROTARY COMPRESSOR BY PHYSICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0741945(A) 申请公布日期 1995.02.10
申请号 JP19930190485 申请日期 1993.07.30
申请人 NIPPON PISTON RING CO LTD 发明人 EGAMI YASUKICHI;AIZAWA TAKESHI
分类号 C23C14/50;F04C18/356;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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