发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0741939(A) 申请公布日期 1995.02.10
申请号 JP19930205705 申请日期 1993.07.28
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 WATANABE SHUJIRO;SHIMIZU JUNICHI;ANDO HIDEKAZU
分类号 C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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