发明名称 METHOD FOR PURIFYING HYDROGEN PEROXIDE AQUEOUS SOLUTION
摘要
申请公布号 JPH0741308(A) 申请公布日期 1995.02.10
申请号 JP19940105586 申请日期 1994.05.19
申请人 MITSUBISHI GAS CHEM CO INC 发明人 SUGIHARA YASUO;TANAKA KAZUNARI
分类号 C01B15/013;H01L21/304;(IPC1-7):C01B15/013 主分类号 C01B15/013
代理机构 代理人
主权项
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