| 发明名称 |
HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0741398(A) |
申请公布日期 |
1995.02.10 |
| 申请号 |
JP19930188537 |
申请日期 |
1993.07.29 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK |
发明人 |
IWASAKI TOSHIO;NAKASHIZU TSUNEO;HASEBE MASAMI;KOJIMA KIYOSHI |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;C30B33/02;H01L21/324;(IPC1-7):C30B33/02 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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