发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6230335(A) |
申请公布日期 |
1987.02.09 |
申请号 |
JP19850168833 |
申请日期 |
1985.07.31 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YANAGIHARA FUMIO;KATO IKUO;SERIGANO MAKOTO |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/31;H01L21/314;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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