SEITENWAND-DOTIERUNGSVERFAHREN FÜR MESA-STRUKTUREN VON SOS- UND SOI-BAUELEMENTEN.,申请号DE1990615547-传众专利搜索

发明名称	SEITENWAND-DOTIERUNGSVERFAHREN FÜR MESA-STRUKTUREN VON SOS- UND SOI-BAUELEMENTEN.
摘要
申请公布号	DE69015547(D1)	申请公布日期	1995.02.09
申请号	DE1990615547	申请日期	1990.03.23
申请人	HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US	发明人	CHANG, CHEN-CHI, P., NEWPORT BEACH, CA 92660, US;LIAO, KUAN, Y., IRVINE, CA 92714, US;FARB, JOSEPH, E., RIVERSIDE, CA 92505, US
分类号	H01L21/205;H01L21/225;H01L21/8238;H01L21/86;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/86	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
地址