Trägervorrichtung für Halbleiter-Wafer,申请号DE19914132405-传众专利搜索

发明名称	Trägervorrichtung für Halbleiter-Wafer
摘要
申请公布号	DE4132405(C2)	申请公布日期	1995.02.09
申请号	DE19914132405	申请日期	1991.09.26
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	NOBUTAKA, KIKUIRI, TOKIO/TOKYO, JP;NORIO, UCHIDA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号	G03F7/20;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;B65G49/07	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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